一种抛光垫检测方法和抛光垫检测装置

本公开提供了一种抛光垫检测方法和抛光垫检测装置，属于抛光技术领域。该方法包括：获取抛光垫的当前图像；根据当前图像、抛光过程的工艺参数以及抛光垫的历史使用数据，预测抛光垫的剩余寿命。能够准确预测抛光垫的剩余寿命。