一种气体传输系统

本发明实施例提供了一种气体传输系统，涉及气体传输技术领域，所述系统包括：控制设备以及依次连接的气源、一级缓冲罐、二级缓冲罐，二级缓冲罐包括缓冲罐组，缓冲罐组包括多个并联罐体，二级缓冲罐与用气设备连通；控制设备根据用气设备所需的压力和流量，通过PID控制算法，调整缓冲罐的调节阀的开启程度以及控制气源进行补气；以及通过调节缓冲罐组中各罐体的调节阀和/或开启缓冲罐中各罐体间的均压管，以平衡各罐体间的压力。通过多罐协同传输气体避免了单罐传输气体时压力变化率较大的问题；利用PID算法精准匹配用气设备对于气体压力和流量的需求；通过平衡罐体间的压力确保二级缓冲罐整体压力稳定。