基于工业数据处理的半导体器件测试设备控制系统及方法

本发明涉及测试设备智能控制技术领域，公开了基于工业数据处理的半导体器件测试设备控制系统及方法，其中，基于工业数据处理的半导体器件测试设备控制方法包括：采集半导体器件测试设备的多源异构数据并进行预处理；构建结构因果模型，利用结构因果模型通过反事实推理进行根因识别；构建异常测试指纹和知识库；生成干预方案，并评估生成的干预方案，选择最优干预方案；对检测到的异常进行处理，并基于历史异常数据和因果分析结果，生成并实施预防性控制策略；本发明通过引入因果推断、反事实推理、异常测试指纹识别和蒙特卡洛树搜索等创新技术，实现了半导体测试设备的智能化控制。