摘要
本发明公开了一种大梯度干涉条纹的波前恢复方法及装置,涉及光学测量技术领域。用于解决现有针对光学元件面形检测通过额外附加补偿器降低干涉条纹密度,存在操作复杂且需针对不同待测件设置不同补偿器件的问题。包括:将目标干涉图包括的每个像素点映射至单位圆内,得到包含所述目标干涉图信息的Zernike多项式;通过线性组合所述Zernike多项式和随机生成Zernike多项式的估计系数,得到每个像素点的迭代波前信息,以及包含估计系数、Zernike多项式和波数的迭代干涉图;根据损失函数确定所述目标干涉图和所述迭代干涉图的差异,若所述差异不满足阈值,根据粒子群优化算法更新所述估计系数,当迭代次数达到设定次数或损失函数满足所述阈值,将当前迭代对应的更新系数确定为最优系数,根据所述最优系数和得所述迭代波前信息得到恢复波前信息,所述恢复波前信息为所述待测波前信息。
技术关键词
多项式
干涉条纹
像素点
恢复方法
粒子群优化算法
光学元件面形检测
计算机设备
补偿器件
处理器
恢复装置
探测器
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