键合丝退火设备温度异常原因确定方法、电子设备及介质

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键合丝退火设备温度异常原因确定方法、电子设备及介质
申请号:CN202510832729
申请日期:2025-06-20
公开号:CN120330469B
公开日期:2025-09-05
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种键合丝退火设备温度异常原因确定方法、电子设备及介质,涉及键合丝退火设备温度异常原因确定技术领域,方法包括:获取预设滑动时间窗口内每一温度传感器每一次检测温度时对应位置处的气压,以得到气压矩阵HA;获取气体退火装置对应的若干气体参数、若干管道参数和若干环境参数,得到退火装置对应的关键参数特征向量QA;将QA和HA输入至预设的键合丝温度预测模型,以得到HA对应的预测温度矩阵HB;将HB与A进行同位作差,以得到温度差值矩阵ΔH;对ΔH进行分析,以确定键合丝退火异常的具体原因;本发明能够实现对温度异常的精准诊断,减少盲目排查导致的维修成本增加与生产停滞,保障键合丝退火质量稳定性。
技术关键词
键合丝 退火设备 退火装置 滑动时间窗口 拟合算法 温度预测模型 矩阵 非线性最小二乘法 温度传感器位置 特征提取方式 气压 气体 电子设备 参数 可读存储介质 多项式 处理器
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