一种高精度电镜室组合屏蔽方法

本发明涉及电镜室电磁屏蔽领域，提供了一种高精度电镜室组合屏蔽方法，包括以下步骤：S1、模拟电镜运行实验环境进行初态磁场测量，分别测试直流和交流的磁场环境数值；S2、采用低碳钢板作为屏蔽壳体，基于测试的磁场环境数值以及电镜设备磁场环境的目标值计算屏蔽壳体的厚度；S3、屏蔽壳体焊接完成、屏蔽门以及波导窗安装完成后，进行屏蔽测试，并对薄弱点和漏磁点进行补强处理，其中波导窗包括磁波导管、六角蜂窝真空钎焊波导窗，磁波导管包括壳体、格栅；S4、设置主动屏蔽系统，修正实际运行阶段电镜实验磁场环境偏差，能够同时满足磁场和电磁的屏蔽，对波导窗结构进行优化，同时满足对于低频以及高频电磁波的屏蔽。