一种轮廓点处理方法、设备、介质及产品

本申请公开了一种轮廓点处理方法、设备、介质及产品，应用于光刻建模技术领域。本方法首先提取光刻胶图形的第一点序列，然后滤除第一点序列中的异常点，得到第二点序列；最后滤除第二点序列中的冗余点，得到第三点序列。在本实现方式中，对第一点序列进行两步滤除，第一步通过第一阈值滤除掉异常的轮廓点，从而保证剩余轮廓点的准确性，进而能够得到准确性更高的光刻模型。第二步再通过第二阈值滤除掉冗余的轮廓点，从而降低数据量，进而保证了建模速度。本方案具体利用第一点对和第二点对与各中间点的位置关系，滤除了异常点和冗余点，不仅降低了数据量，而且保证了数据的准确性，从而提高了建模的速度和准确性。