摘要
本申请公开了一种芯片版图的拼接方法、装置、设备及存储介质,涉及光刻仿真技术领域,该芯片版图的拼接方法包括:获取芯片版图的单个像素点尺寸;根据单个像素点尺寸以及图像处理器的内存大小,确定每个子版图的掩膜优化尺寸,各子版图是对芯片版图进行切割得到的多个局部版图;根据单个像素点尺寸以及子版图预设的冗余像素点范围,确定每个子版图的冗余尺寸;根据掩膜优化尺寸以及冗余尺寸,确定各子版图拼接成芯片版图时的拼接范围。本申请实施例提供的芯片版图的拼接方法,能够提高子版图拼接范围的准确性。
技术关键词
版图
像素点
图像处理器
拼接方法
掩膜
尺寸
芯片
计算机程序指令
冗余
光刻机投影物镜
光刻机光源
可读存储介质
拼接装置
波长
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