芯片版图的拼接方法、装置、设备及存储介质

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芯片版图的拼接方法、装置、设备及存储介质
申请号:CN202411384567
申请日期:2024-09-29
公开号:CN119376174B
公开日期:2025-10-10
类型:发明专利
摘要
本申请公开了一种芯片版图的拼接方法、装置、设备及存储介质,涉及光刻仿真技术领域,该芯片版图的拼接方法包括:获取芯片版图的单个像素点尺寸;根据单个像素点尺寸以及图像处理器的内存大小,确定每个子版图的掩膜优化尺寸,各子版图是对芯片版图进行切割得到的多个局部版图;根据单个像素点尺寸以及子版图预设的冗余像素点范围,确定每个子版图的冗余尺寸;根据掩膜优化尺寸以及冗余尺寸,确定各子版图拼接成芯片版图时的拼接范围。本申请实施例提供的芯片版图的拼接方法,能够提高子版图拼接范围的准确性。
技术关键词
版图 像素点 图像处理器 拼接方法 掩膜 尺寸 芯片 计算机程序指令 冗余 光刻机投影物镜 光刻机光源 可读存储介质 拼接装置 波长 模块 电子设备 存储器
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