一种声表面波横向模抑制结构的设计方法

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一种声表面波横向模抑制结构的设计方法
申请号:CN202510445997
申请日期:2025-04-10
公开号:CN120373020A
公开日期:2025-07-25
类型:发明专利
摘要
本发明属于滤波器技术领域,具体涉及一种声表面波横向模抑制结构的设计方法;该方法包括:定义仿真域并进行仿真域网格划分,得到离散块矩阵;对离散块矩阵进行随机赋值,生成横向模式杂波抑制结构图形;根据横向模式杂波抑制结构图形建立有限元模型;对有限元模型进行谐振器频响仿真,得到仿真结果并根据仿真结果和评价体系函数判断横向模抑制效果是否满足约束条件;当横向模抑制效果未满足约束条件时,对离散块数值进行优化,并重新建模仿真,直到满足约束条件或达到迭代次数,迭代终止;根据完成迭代后的离散块数值生成杂波抑制结构的每一层版图文件;本发明改进了横向模式杂波抑制效果,提升了滤波器的通带滤波性能。
技术关键词
表面波 温度补偿层 叉指电极 金属图形 建模仿真 谐振器 数值 汇流条 滤波器技术 模式 矩阵 版图 网格 三维模型 定义 衬底 频率
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