一种基于HVPE设备的智能温场调控方法及系统

本发明公开了一种基于HVPE设备的智能温场调控方法及系统，本发明涉及温场控制领域，S1：多源异构数据多维采集与时空融合；S2：温场均衡度量化评估与分布式协同控制，利用S1所采集的数据计算温场均衡度，通过六维模糊PID控制器与一致性算法，完成温场失衡判断及加热器的协同控制，用于提升温场均匀性与稳定性；S3：热、流、沉积、压力四场耦合动态补偿；S4：基于数字孪生的动态学习优化。本发明所述的一种基于HVPE设备的智能温场调控方法及系统，基于多源异构数据采集、温场均衡控制、四场耦合补偿、数字孪生优化，实现了温场控制精度、复杂工况适应性、设备运维效率的全面提升。