摘要
本申请公开了一种64通道压力扫描阀用滑块及扫描阀,涉及压力测量技术领域,所述64通道压力扫描阀用滑块包括测量系统和吹扫系统,测量系统设有相通的测量输入口和测量输出口,在所述滑块处于测量工位时,所述测量输入口连通导气组件,所述测量输出口用于向压力芯片的第一侧提供测量压力;吹扫系统设有相通的吹扫输入口和吹扫输出口,所述吹扫输入口用于输入吹扫气体,在所述滑块处于吹扫工位时,所述吹扫输出口连通导气组件,通过吹扫气体吹扫导气组件的内部。上述64通道压力扫描阀用滑块,通过集成吹扫系统,有效解决了多通道压力扫描阀中气路不畅的问题,提高了测量的准确性和系统的稳定性。
技术关键词
输出口
导气组件
吹扫系统
滑块
工位
校准压力
校准系统
芯片
间距
气体
多通道
系统为您推荐了相关专利信息
三维激光扫描仪
移动机构
振动机构
降尘机构
丝杠
位置误差标定方法
激光测距组件
二维移动平台
位置敏感探测器
误差标定装置
冻存盒
夹爪组件
旋盖装置
旋转电机
信息接收模块