基于多模态光学成像的芯片缺陷检测方法、装置以及设备

本发明涉及半导体缺陷检测的技术领域，公开了一种基于多模态光学成像的芯片缺陷检测方法、装置以及设备，本发明通过多个光学检测通道获取芯片的多模态成像数据，基于这些数据构建数字孪生体，并生成多个检测复现模型，计算每个模型的信息置信度，转化为检测特征矩阵，通过跨模态相关性分析计算各模型之间的相关性，依据相关性信息对特征矩阵进行异常标注，进行缺陷感知并生成检测结果，该方法能够提高缺陷检测的精度与鲁棒性，特别是在微小和潜在缺陷的识别上，具有较高的应用价值，解决了现有技术中单一光学成像技术检测精度不高的问题。