摘要
本发明涉及芯片加工技术领域,公开了一种裂刀压力控制结构、裂片机、工厂及裂刀压力控制方法,裂刀压力控制结构包括:位移板固定设置裂刀,且滑动连接在导轨上;压力传感器的感应端与位移板接触设置,且实时通过位移板移动,获取裂刀对芯片的实时加工压力;动力结构带动位移板沿导轨滑动;控制器与动力结构、压力传感器均信号连接;控制器实时接收压力传感器传送的裂刀的实时加工压力,将实时加工压力与设定加工压力比较,以通过动力结构带动位移板移动,使得实时加工压力与设定加工压力相等。本申请通过对裂刀加工压力的实时精准控制,形成闭环控制,不需人工干预,加工压力通过压力传感器结合控制器进行监控,保证裂片加工稳定性。
技术关键词
压力控制结构
压力传感器
控制仪表
压力控制方法
角度调节板
裂片机
控制器
动力
导轨
半导体芯片
闭环控制
系统控制
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