一种基于不同清洗机理耦合作用的激光清洗方法

本发明提出一种基于不同清洗机理耦合作用的激光清洗方法。所述方法考虑等离子体冲击波效应、汽化效应、热应力、蒸发压力、光子压力和冷烧蚀，这六种激光清洗机理耦合作用下，激光清洗基底表面污物方法。其次，解决了以往的研究中仅考虑了激光清洗过程中的单一的机理研究和工艺研究，不能真实地反映激光清洗的动态特性问题。考虑到多种激光清洗机理耦合作用，使得激光高效去除表面污物而不损伤基底表面。基于此，提出的基于不同清洗机理耦合作用的激光清洗方法更加准确地反映激光清洗待清洗材料实际过程，并保证不损伤基底材料。