半导体设备FOUP缓存系统及其工作方法

本发明提供了半导体设备FOUP缓存系统，其能够进行自动化上下料与缓存，从而减少待料时间，进而提升稼动率。其包括：多功能缓冲区，其具备FOUP的临时存放功能，还集成自动扫码识别、智能调度与优先级排序功能；智能调度系统，其通过实时监测半导体设备的作业状态与FOUP的流转情况，计算并优化FOUP的调度路径与缓存顺序；自动化对接与搬运系统，其包括高精度定位系统、自动搬运机器人及智能对接装置，自动完成FOUP的精准定位、抓取、搬运与释放；以及标准化接口与兼容性设置，在多功能缓存区及半导体设备上均设置标准化的接口与通信协议，这些接口不仅支持FOUP的快速、稳定连接与断开，还能够实现与上游工序、下游工序及中央控制系统的数据交换与指令传输。