一种基于深度学习的基板缺陷检测系统与方法

本发明公开了一种基于深度学习的基板缺陷检测系统与方法，属于机器视觉技术领域，包括：相机检测控制单元，用于进行机器人的位置补偿运动或将检测结果反馈给上位机进行呈现；相机视觉引导单元，用于实时接收图像数据、传感器数据，并进行处理，将处理结果指令发送给协作机器人进行运动补偿；检测算法软件单元，用于与上位机软件平台获取相机拍摄所得的检测图片进行结果比对呈现。本发明可以实现高精度、高效率的自动化缺陷检测。