一种多孔硅基集成光波导气体传感器的飞秒激光制备方法

本发明公开了一种多孔硅基集成光波导气体传感器的飞秒激光制备方法，属于微纳光电子器件与气体传感技术领域。包括：氧化多孔硅薄膜；位于氧化多孔硅薄膜内部的由正折射率致密化轨迹单元排列形成的三维波导结构；以及，嵌入波导内部的荧光探针分子；待测气体能够与荧光探针分子相互作用从而改变波导的发光特性；所述三维波导结构两端分别耦合一段光纤作为光输入端和光输出端。本发明通过飞秒激光诱导坍塌致密化技术在氧化多孔硅薄膜中集成荧光探针和光波导，利用大比表面积纳米孔结构与倏逝场增强波导结构，实现待测气体的常温下全光过程高灵敏度、超快响应实时光学检测。