摘要
本发明公开了一种具有高散热性能的板级封装方法及其产品,板级封装方法包括以下步骤:将铜板与基板键合在一起;将铜板刻蚀出凹槽及芯片贴装对位Mark;将若干芯片背面贴装在铜板上;将芯片和铜板进行塑封;在芯片表面开孔;制作芯片互联的再分布结构;将上述所得结构与基板分离,裸露出铜板;刻蚀裸露出的铜板;对裸露出的铜板做抛光防氧化处理;将上述所得结构切割为单个封装单元。本发明将铜板贴在芯片背面,从而有效降低芯片散热的界面热阻,芯片不被封装材料完全包覆,散热通道打开,从而提高芯片的散热效率,提高芯片在高负荷运转下的性能稳定性及可靠性表现,同时芯片及铜板被封装材料包覆,有效提高封装结构的稳定性。
技术关键词
封装方法
铜板
高散热
芯片
封装单元
封装材料
封装结构
基板
界面热阻
高导热
抛光
凹槽
粉状
激光
正面
通道
系统为您推荐了相关专利信息
光电探测器
相位调制器
光芯片
波导耦合器
光纤分束器
电路模块
修剪方法
冗余
FPGA芯片
深度优先搜索算法
芯片封装方法
塑封模具
电子元器件
金属化
封装结构