针对陶瓷封装芯片的失效分析方法

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针对陶瓷封装芯片的失效分析方法
申请号:CN202510890595
申请日期:2025-06-28
公开号:CN120722163A
公开日期:2025-09-30
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种针对陶瓷封装芯片的失效分析方法,包括:对样品进行第一次电性测试;去除玻璃盖板,进行第二次电性测试;若第二次电性测试测得的电性与第一次电性测试测得的电性一致,则对像素芯片进行第一次热点抓取;将样品放入容器中,向容器中加入填充剂;填充剂固化后,对样品的逻辑芯片一侧进行研磨,直至逻辑芯片的衬底晶面全部出现;去除填充剂,取出像素芯片和逻辑芯片,进行第三次电性测试;若第三次电性测试测得的电性与第二次电性测试测得的电性一致,则对逻辑芯片进行第二次热点抓取。本发明可以在不损伤芯片的前提下,将陶瓷基底和芯片分离,实现逻辑芯片与像素芯片的热点定位,解决陶瓷基封装去除困难以及热点定位困难的问题。
技术关键词
失效分析方法 陶瓷封装 芯片 玻璃盖板 填充剂 逻辑 热点 像素 晶面 基底 曲线 容器 衬底 包裹 电路
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