摘要
本发明提供了一种针对陶瓷封装芯片的失效分析方法,包括:对样品进行第一次电性测试;去除玻璃盖板,进行第二次电性测试;若第二次电性测试测得的电性与第一次电性测试测得的电性一致,则对像素芯片进行第一次热点抓取;将样品放入容器中,向容器中加入填充剂;填充剂固化后,对样品的逻辑芯片一侧进行研磨,直至逻辑芯片的衬底晶面全部出现;去除填充剂,取出像素芯片和逻辑芯片,进行第三次电性测试;若第三次电性测试测得的电性与第二次电性测试测得的电性一致,则对逻辑芯片进行第二次热点抓取。本发明可以在不损伤芯片的前提下,将陶瓷基底和芯片分离,实现逻辑芯片与像素芯片的热点定位,解决陶瓷基封装去除困难以及热点定位困难的问题。
技术关键词
失效分析方法
陶瓷封装
芯片
玻璃盖板
填充剂
逻辑
热点
像素
晶面
基底
曲线
容器
衬底
包裹
电路
系统为您推荐了相关专利信息
电池唤醒电路
场效应管
感应模块
控制模块
供电模块
可控开关
射频功率放大电路
信号
电容器
切换功率放大器
小型化高效率
输出滤波电路
通断控制电路
同步整流芯片
输出同步整流