一种多晶硅生产环境的控制系统及方法

本发明实施例公开一种多晶硅生产环境的控制系统和方法。该系统包括自主决策控制子系统、云端数字孪生子系统、多个智能边缘计算子系统及多个多模态感知子系统；多模态感知子系统将多维度传感数据发送给智能边缘计算子系统；智能边缘计算子系统对多维度传感数据进行向量融合；以及，用于根据融合向量得到的数据，确定多晶硅生产环境的当前工艺状态；云端数字孪生子系统用于根据当前工艺状态，预测多晶硅生产环境的未来工艺状态；自主决策控制子系统用于根据当前工艺状态和未来工艺状态，制定相应的多晶硅生产参数控制策略；还用于根据多晶硅生产参数控制策略，对多晶硅生产环境进行控制。该系统能够满足对多晶硅生产环境的全面、同步监测需求。