一种LDI机图像分割及曝光拼接方法

本发明涉及数字光刻装备的技术领域，更具体地，涉及一种LDI机图像分割及曝光拼接方法，对原始复杂图形进行初次分割，通过细化处理后再次分割；曝光过程中，周期性采集曝光图案的灰度直方图，使相邻区域的曝光图像对齐，形成连续的曝光图像，同时光束调制器根据各所述第二分割区域的特性动态调整曝光参数，实现对曝光质量的闭环控制；通过搜索算法与多帧融合技术对所有曝光图像进行拼接处理，实现了图像边缘的平滑过渡，有效避免了局部特征的不连续性，确保了图像拼接后的整体一致性和完整性，进而提升成像质量和精度，最后对拼接图像进行校验，确保各个分割区域无缝拼接，从而生成高质量的图形输出。