一种基于卷积预测模型的电子束沉积能量预测方法及系统

本发明公开了一种基于卷积预测模型的电子束沉积能量预测方法及系统，方法包括：S1、通过蒙特卡洛仿真采集多种尺寸束斑的二维平面沉积能量数据，进行异常数据识别，以及异常数据替换，得到最终的二维平面沉积能量数据；S2、获取每个束斑对应的二值化图形函数，利用沉积能量密度函数分别与各个束斑对应的二值化图形函数进行卷积，得到相应的卷积预测模型；S3、基于最终二维平面沉积能量数据对沉积能量密度函数进行拟合，得到各参数的最优拟合值；S4、将各参数的最优拟合值代入任意形状束斑对应的沉积能量卷积预测模型中，以实现任意形状束斑的沉积能量预测。本发明具有预测精度高、计算量小等优点。