硅微谐振式压力传感器激励测频集成系统及其工作方法

本发明公开了硅微谐振式压力传感器激励测频集成系统及其工作方法，属于谐振式压力传感器技术领域，所述系统包括依次连接的前级信号处理电路、微控制器、后级信号处理电路和显示电路；微控制器用于实时检测模数转换器输出信号的频率并驱动显示电路实时显示所述频率，对模数转换器输出信号进行90度超前移相，移相信号转换为模拟激励信号反馈至压力传感器，同步通过SPI驱动OLED显示实时频率。解决了宽频带激励相位匹配难题，将激励与测频功能一体化集成，消除外部设备依赖，提高了易用性。