一种智能传感器自诊断优化系统及智能传感器

本发明公开了一种智能传感器自诊断优化系统及智能传感器，包括集成于传感器内部的激光干涉单元与温度检测单元，通过激光干涉测量获取传感器的位移相位差，并结合内部温度数据，由边缘计算单元内置的人工智能处理器实时计算物理位移量。进一步包括动态基准校准单元，基于目标检测神经网络识别产线中基准工件特征，并结合物理位移量生成空间误差补偿矩阵。补偿结果由传感器补偿电路单元内的FPGA寄存器动态加载，实现对传感器输出信号的精细补偿。本发明具备高精度动态误差补偿、自主诊断优化能力和良好的系统集成性，适用于高精度制造、智能工厂等场景中的传感器自适应控制。