一种低功耗高集成的MEMS温湿度传感器芯片

本发明公开了一种低功耗高集成的MEMS温湿度传感器芯片，包括传感器元件，所述传感器元件的输出端与所述参考电路电性连接，所述参考电路的输出端与所述调理电路电性连接，所述调理电路的输出端与所述数模转换电路电性连接，所述数模转换电路的输出端与所述数字模块电性连接，所述数字模块与上位机电性连接，其中，所述电源管理模块分别与所述参考电路、所述前置调理电路、所述数模转换电路以及数字模块电性连接；本发明通过多模块协同机制的系统性创新，采用片内温度传感器、调理电路、数字滤波校准电路来实现传感器的高集成度、高精度；并在此基础上丰富电源管理模块控制，实现多模式下的功耗切换以及非活跃模块的功耗管理，从而降低功耗。