摘要
本发明公开了一种石英基板全自动涂蜡工艺及其装置,包括:机床,所述机床之间置于地面,且机床的内部上方设置有电热丝,并且机床的右侧设置有涂蜡工站;所述机床的上侧后方设置有用于降低人力成本以及提高涂蜡均匀性的自动化加工机构,且机床的上侧设置有用于提高加工效率的多工件同时加工机构。该石英基板全自动涂蜡工艺及其装置,通过设置了自动化加工机构,有效的保证了涂蜡的均匀性以及降低了人力成本和风险等优点,同时设置了多工件同时加工机构,有效的缩短了石英基板涂蜡的时间,从而大大提高了石英基板的生产效率,另外设置了限位机构,有效的保障了石英基板在加工的过程中不会产生位置的移动,从而大大提高石英基板涂蜡的精度。
技术关键词
石英基板
涂蜡装置
涂蜡工艺
加热平台
机床
双向丝杆
加热腔
电热丝
限位机构
激光传感器
机械臂
多工件
人力
风险
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精度
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