多级联动调节减压速率的梯度真空干燥系统及梯度减压控制方法

本发明公开了一种多级联动调节减压速率的梯度真空干燥系统及梯度减压控制方法，所述梯度真空干燥系统包括箱体以及设于所述箱体内部的真空干燥腔室，还包括：抽气机构，通过抽气管路与真空干燥腔密封连接；供气机构，通过送气管路与真空干燥腔室、通过补气管路与动态压力调节系统连通，配置为在干燥过程中向动态压力调节系统定量补气或干燥结束后对真空干燥腔室破真空；动态压力调节系统，包括真空缓冲稳压单元和抽气速率监测调控单元；控制机构，包括PLC控制器，所述PLC控制器与供气机构、抽气机构和抽气速率监测调控单元电性连接。本申请有益效果是：通过抽气‑补气协同调节，实现减压干燥速率的精准调节，显著提高成膜质量。