一种晶圆盒传送机械手及控制方法

本发明公开了一种晶圆盒传送机械手及控制方法，涉及晶圆盒传送技术领域，包括底板外壳，所述底板外壳的一侧固定安装有夹爪外壳，所述夹爪外壳上固定安装有晶圆夹爪，所述底板外壳的另一侧固定安装有背板，所述背板的底部安装有关节轴，所述背板的一侧对称活动安装有两个晶圆盒夹爪托架。本发明提供一种晶圆盒传送机械手及控制方法，通过将晶圆盒夹爪托架与晶圆夹爪的进行一体化设计，减少了空间的占用，且对于两个单独的晶圆盒夹爪托架和晶圆夹爪来说，在有限的空间可能会使晶圆盒夹爪托架和晶圆夹爪发生碰撞，需要运动规划等，而晶圆盒夹爪托架和晶圆夹爪的一体化设计能够显著减少设备体积和复杂性，使其能够在狭小空间中更加灵活地操作。