一种应用旋转平移法检测柱面镜绝对面形的方法及系统

本发明公开了一种应用旋转平移法检测柱面镜绝对面形的方法及系统，包括：进行柱面CGH与干涉仪主机对准，进行柱面CGH与待测柱面镜的波前匹配；获取初始对准状态的初始干涉测量数据，将待测柱面镜绕光轴旋转180°后获取第一测量数据；基于第一测量数据与初始干涉测量数据，通过迭代算法重构旋转非对称分量；控制使待测柱面镜沿x轴方向和y轴方向分别移动单位像素距离并维持零位状态后采集对应的第二测量数据和第三测量数据；从第一测量数据、第二测量数据和第三测量数据中扣除旋转非对称分量，基于差分波前重构算法求解旋转对称分量；将旋转非对称分量与旋转对称分量进行叠加，获得柱面镜绝对面形误差分布。本发明显著提升了检测精度。