衍射图像数据处理方法、装置和存储介质

本发明提供一种衍射图像数据处理方法、装置和存储介质，所述方法包括：针对利用电子束或光子束扫描样品的多个扫描点得到的第一衍射图像数据集，利用预先构建的空间域的图像插入模型在扫描点之间进行非扫描点对应的图像的插入操作，来增加衍射图像的个数，并基于个数增加后的衍射图像得到第二衍射图像数据集，其中，所述第一衍射图像数据包括空间域的多个扫描点形成的二维扫描点中每个扫描点对应的二维衍射图像，所述第二衍射图像数据包括：多个扫描点和多个非扫描点形成的二维位置点中每个位置点对应的二维衍射图像，所述衍射图像为频率域图像，其各个像素位置为样品结构的频率矢量；对第二衍射图像数据进行处理，得到样品在空间域的结构信息。