一种基于大语言模型的光刻仿真方法、装置、设备及介质

本申请公开了一种基于大语言模型的光刻仿真方法、装置、设备及介质，涉及光刻仿真技术领域，包括：将待仿真芯片版图输入至预训练大语言模型，对待仿真芯片版图进行多边形遍历和编码，生成单个多边形的序列信息，将所有序列信息按序拼接，得到与待仿真芯片版图对应的完整版图序列；对完整版图序列进行序列特征提取，得到目标序列特征，捕捉目标序列特征中表征多边形的全局上下文关系的目标编码特征，基于目标编码特征生成预测的目标序列数据，并提取每个多边形的顶点坐标、边方向和长度信息，基于每个多边形的顶点坐标、边方向和长度信息重构每个多边形的目标几何轮廓，将所有目标几何轮廓组合的完整的光刻仿真版图进行输出。实现版图的快速仿真。