抛光头柔性膜的仿真优化方法、装置、设备、介质及产品

本发明涉及化学机械拋光技术领域，公开了一种抛光头柔性膜的仿真优化方法、装置、设备、介质及产品，方法包括：获取抛光头抛光晶圆的几何模型，其中，几何模型包括抛光头的承载装置、抛光头的柔性膜、吸附于柔性膜上的晶圆和与晶圆的待抛光面接触的抛光垫，承载装置与柔性膜连接；将几何模型加载到有限元分析模型进行仿真分析，确定待抛光面在预设压力下的形变量；根据待抛光面的形变量，优化柔性膜的尺寸，以得到目标柔性膜。本发明通过仿真方式对设计的柔性膜结构进行性能的验证，验证通过后再进行投产，能够缩短研发周期和降低研发成本。