摘要
本申请属于工业视觉检测技术领域,具体公开了一种基于异步元学习的芯片版图光刻热点检测方法及系统。该方法包括:对待检测的新芯片版图进行切片,得到所述新芯片版图对应的多个待检测版图切片;将所述多个待检测版图切片输入至芯片版图光刻热点检测模型,得到所述芯片版图光刻热点检测模型输出的所述新芯片版图的光刻热点检测结果;所述芯片版图光刻热点检测模型是利用所述新芯片版图对元初始化模型进行单样本训练得到的;所述元初始化模型是根据旧芯片版图样本及其对应的分类标签集合进行元训练得到的。通过本申请,可以大大提升芯片版图光刻热点检测模型的泛化性能,在仅需单训练样本条件下实现了跨芯片设计版图光刻热点的有效检测。
技术关键词
光刻热点检测
版图
芯片
切片
样本
工业视觉检测技术
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标签
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特征提取器
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