平板电容式MEMS器件的设计方法、装置及存储介质

本公开提供了一种平板电容式MEMS器件的设计方法、装置及存储介质，包括：随机生成平板电容式MEMS器件第一设计参数的初始解作为个体，将多个个体组成第一种群；采用多目标进化算法对第一种群进行多次迭代，在每次迭代中，采用谐振频率与位移响应预测模型，预测平板电容式MEMS器件的谐振频率和位移响应，并筛选预测的谐振频率和位移响应满足目标值的个体；其中，谐振频率与位移响应预测模型基于人工神经网络模型构建；采用有限元分析方法对的谐振频率和位移响应满足目标值的个体对应的设计参数值进行验证，确定电容式MEMS器件的设计参数值。