一种三维触觉传感器及压力传感测试方法

本发明公开了一种三维触觉传感器及压力传感测试方法，属于压力传感技术领域，包括依次堆叠设置的基底层、磁传感层、压力传感层和柔性传感层，柔性传感层在三维方向可形变，柔性传感层内嵌设有至少一个磁体，磁体可随柔性传感层形变以在三维方向移动，磁传感层用于根据磁体位移计算柔性传感层在三维方向的压力。本发明的三维触觉传感器，其结合了压阻式传感器和磁传感器的检测优势，保留了压阻式传感器高触发灵敏度的优点，实现1gf~5gf的压力触发，并具有磁传感器在三维方向上力检测的优势；同时，二者配合，消除了磁传感器在磁干扰环境下的数据异常，进一步提高了三维方向上力检测的准确度。