一种大尺寸低反射率平面高精度平面度测量方法

本发明公开了一种大尺寸低反射率平面高精度平面度测量方法，属于光学精密测量技术领域，该方法包括以下步骤：计算子孔径数量和斜入射角度，确定子孔径拼接路径；移相激光干涉仪斜入射角度入射至被测平面，采集椭圆子孔径区域的干涉条纹灰度图像；利用移相干涉算法解算干涉条纹灰度图像，获得子孔径的相位数据；根据确定的子孔径拼接路径移动被测平面，依次获得各子孔径的相位数据；对各子孔径的相位数据进行拼接处理，生成被测平面整体的相位数据；将测量平面整体的相位数据还原被测平面的平面高度数据。该方法对抛光表面依赖性低、对干涉仪口径依赖性低、测量正确率高、稳定性强。