一种基于冗余特征的激光干涉仪平面反射镜面型误差补偿方法

本发明公开了一种基于冗余特征的激光干涉仪平面反射镜面型误差补偿方法。所述方法包括：基于X/Y向测量光束对Rz自由度的冗余测量特性，建立包含旋转面型误差和平移面型误差的复合补偿模型。旋转面型误差模型通过测量光束的Rz自由度冗余数据构建，平移面型误差模型基于旋转误差梯度与测量光束间距的几何关系建立。采用参数化补偿机制将两类面型误差补偿至干涉仪测量模型，并通过迭代优化算法实现动态误差修正。该方法可以有效解决由反射镜面型变形导致的测量精度问题，为超精密运动控制系统提供了可靠的测量基准。