摘要
本发明公开了一种医用低温等离子体发生系统及其控制方法,涉及等离子体技术领域,方案包括:等离子体发生装置和控制主机,控制主机内设有中央控制模块、放电监测模块、高压电源、高压控制模块和气体流量控制模块;中央控制模块与放电监测模块、高压控制模块和气体流量控制模块控制连接,高压控制模块与高压电源控制连接,放电监测模块用于测量高压电源高压电极和地电极的工作电流或工作电压,中央控制模块用于根据放电监测模块的测量结果控制高压控制模块和气体流量控制模块进行输出电源参数和工作气体流量补偿。本发明解决了因操作环境参数波动、处置目标电学特性变化及等离子体发生装置自然老化等原因所带来的等离子体剂量输出不稳定问题。
技术关键词
气体流量控制模块
高压控制模块
中央控制模块
低温等离子体
高压电源
监测模块
控制主机
人机交互模块
高压电阻
放电参数
电极
医用
等离子体技术
罗氏线圈
电流
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