一种老化模型的建模方法

本申请公开了一种老化模型的建模方法，包括：S1：选择目标晶体管，从所有模型参数中选取至少一个模型参数，作为选定参数P；S2：建立针对所述选定参数的待确定系数的老化模型：；S3：收集所述目标晶体管的测试数据，所述测试数据包括阈值电压相关数据和源漏电流相关数据；S4：基于所述待确定系数的老化模型，根据所述测试数据，分别提取对应于所述选定参数P的时间指数nn1、应力条件相关系数ns1和退化系数nd1、所述中的相关系数；S5：得到确定系数的所述老化模型。通过上述方法建立的老化模型，可以直观看到晶体管的参数老化的趋势。