一种带校准的微压差传感器和制造方法

本发明涉及微压差传感器技术领域，提供了一种带校准的微压差传感器及其制造方法，包括壳体，其内部设有空腔部，空腔部通过壳体底端的宝塔嘴输入被测介质；其中，空腔部包括低压空腔和高压空腔，低压空腔和高压空腔通过中心膜片隔离；空腔部一侧安装于电路板上，电路板上设置有压阻式压力传感器芯片和阵列排布的薄膜电阻，电路板通过壳体底部的电气接口外接；薄膜电阻与压阻式压力传感器芯片电连接，设置在空腔部位内，并分别连接低压空腔内的第一压敏元件和高压空腔内的第二压敏元件。