高精度三坐标测量机测头误差标定与补偿方法及装置

本发明涉及一种高精度三坐标测量机测头误差标定与补偿方法及装置，属于精密测量技术领域。其中，方法包括如下步骤：部署多源传感器集成模块，并建立多维误差模型；驱动测头按照预设路径进行扫描，并获取多源传感器集成模块的检测数据以及测头的扫描数据，将检测数据和扫描数据输入至多维误差模型内，生成误差预设值；根据误差预设值进行偏差补偿，并执行偏差补偿后的扫描测量。通过上述方式，可显著缩短测量时间，并减小误差积累，提高检测效率。