ATE设备的校准方法、系统、计算机设备与可读存储介质

本申请涉及集成电路ATE测试技术领域，提供了一种ATE设备的校准方法、系统、计算机设备与可读存储介质，ATE设备具有至少两个测试工位，测试工位配置为测试芯片的参数，其中方法包括：获取基准芯片的基准输入信号与基准输出信号，基准输入信号与基准输出信号之间满足预设信号映射关系；控制信号源向基准芯片施加基准输入信号；控制测量单元测量基准芯片的实际输出信号；根据实际输出信号与基准输入信号的偏差生成控制信号，以调节信号源向基准芯片施加的输入信号，使实际输出信号趋近于或等于基准输出信号。方案中，多测试工位的校准过程消除了不同测试工位间因硬件差异导致的测量偏差，确保了后续量产测试中芯片的参数测试结果的一致性。