摘要
本发明公开一种多体积滑动式微流控芯片的制备及应用,属于微流控芯片技术领域。本发明的多体积滑动式微流控芯片采用上下双层堆叠结构,上层芯片集成4种不同体积的流体腔室,各体积腔室通过微通道网络相互连通,且末端设有与下层对齐的分配出口;下层芯片表面分布有阵列式微孔反应区,无内部通道。通过旋转上层芯片,可使上层不同体积腔室与下层特定微孔精确对准,实现多体积液体的定向分配与反应区独立控制。本发明的微流控芯片结构简单操作简便,便于降低生产制造成本、降低流体控释的复杂性,该芯片兼容生化检测与即时诊断(POCT)场景,尤其适用于需多浓度梯度样本并行处理的PCR扩增实验。
技术关键词
蚀刻
珍珠链
组合体
去离子水
掩模
玻璃基板
光刻胶显影液
微流控芯片技术
二甲基二氯硅烷
磁控溅射方式
紫外曝光机
接触式曝光
微流控通道
光刻胶剥离
正性光刻胶
套刻对准
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组合体
可靠性参数
系统可靠性评估
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视频解压方法
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坏点数量
蚀刻
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坏点识别