一种基于自适应梯度降能算法的离子减薄仪控制方法

本发明公开了一种基于自适应梯度降能算法的离子减薄仪控制方法，属于透射电子显微镜(TEM)样品制备技术领域。本发明解决了传统离子减薄技术存在较多局限性的问题，通过自适应梯度降能算法，实现离子束能量、束流密度和样品温度等参数的动态优化，显著提高样品制备效率；利用多模态数据采集和动态梯度优化相结合，能够精确控制减薄过程，提高样品质量；结合损伤约束机制和自适应步长控制有效避免样品损伤，提高制备过程的稳定性；并通过预存优化路径库适用于多种材料，具有广泛的适用性；以此达到优化离子束能量、入射角度及束流密度的动态调节，实现对减薄仪的控制。