一种真空环境的联动调控方法、系统

本发明公开了一种真空环境的联动调控方法、系统，属于真空环境调控技术领域，其具体包括：实时采集晶体生长环境时序数据，构建温度‑真空‑生长阶段三维映射关系，结合炉体材料热膨胀形变补偿算法动态修正真空阈值，生成多参数耦合真空调控模型；基于真空调控模型生成各生长阶段的动态真空阈值曲线，通过实时偏差计算输出协同控制信号；采用三级联动控制策略维持真空度稳定，并利用长短期记忆网络预测真空度变化趋势，提前激活备用真空单元；通过分布式光纤应变传感器检测密封面泄漏声波特征，定位失效点并驱动磁性补偿塞动态封堵，同时将泄漏信息反馈至真空调控模型，实现闭环优化；本发明提升了晶体生长过程的真空度控制精度与设备可靠性。