一种片上温补石英谐振器的制造方法

本发明涉及一种片上温补石英谐振器的制造方法，包括：根据测温精度需求确定铂电阻的设计电阻值，并基于铂电阻的设计电阻值确定铂电阻的线宽、厚度及长度；基于铂电阻的线宽、厚度及长度在晶圆上制备一个或多个铂电阻；其中，每个铂电阻采用蛇形走线且并联可熔断式微调电极；在完成铂电阻制备后，在晶圆上制备敏感芯片结构和敏感芯片电极；利用四线检测法测量铂电阻的实际电阻值与设计电阻值的差值，并基于该差值对其并联的可熔断式微调电极进行调节，直至铂电阻的实际电阻值与设计电阻值到达预设的误差范围内；将处理后的敏感芯片以及ASIC电路粘贴到陶瓷外壳中，并将敏感芯片上的焊点用金丝连接至陶瓷外壳焊点，再进行平行缝焊，得到制备好的片上温补石英谐振器。本方法给能够减少温度迟滞，通过铂电阻采集到谐振器件芯片的温度能够对性能参数进行补偿，整体提高了谐振器件的全温性能。