一种基于压力协同调节的半导体点胶机输液稳定装置

本申请涉及一种基于压力协同调节的半导体点胶机输液稳定装置，包括腔体、超纯PTFE隔膜和高精度电机；超纯PTFE隔膜设置在腔体内；高精度电机与腔体一端固定连接；腔体内部被超纯PTFE隔膜分成第一容纳腔和第二容纳腔，腔体设置有与第一容纳腔相连通的第三容纳腔，腔体还设置有与第二容纳腔相连通的第四容纳腔，第三容纳腔内设置有第一压力传感器，第四容纳腔内设置有第二压力传感器；第二容纳腔和第四容纳腔内填充有介质液；第一容纳腔和第三容纳腔内通过进液口填充有被吐出液体。本申请基于第一压力传感器和第二压力传感器的压力差值，配合高精度电机精确的行程控制，有效消除了超纯PTFE隔膜形变对液体吐出量的影响。