一种利用微波加热的透射电子显微镜原位测试芯片与测试方法

本发明涉及一种利用微波加热的透射电子显微镜原位测试芯片与测试方法，所述测试芯片包括：硅基片；位于所述硅基片中心的窗口区，其具有能透过电子束的透明薄膜；微波感应区，其设于所述透明薄膜上；以及设置在微波感应区上并用于放置待观测样品的观察区。相较于传统的电阻加热、激光加热方式，本发明的方法具有升温速率快、温度分布均匀的优点，为材料热力学研究提供了新的原位表征手段。