摘要
本发明实施例公开一种转接板、芯片、电子设备及转接板的制造方法,涉及集成半导体技术领域,能够有效提高转接板的良率。所述转接板包括:衬底;互连层,设置于所述衬底上;衬垫层,设置于所述互连层上,包括第一电源衬垫、修复衬垫、第一测试衬垫以及第二测试衬垫,其中,所述第一电源衬垫用于与电源的一端耦接,所述修复衬垫用于可控地与所述电源的另一端耦接或断开;所述第一测试衬垫与所述第一电源衬垫耦接,所述第二测试衬垫与所述修复衬垫耦接;深沟槽电容,由所述衬底的靠近所述互连层的表面延伸至所述衬底内,包括依次层叠设置的第一电极层、电容介质层以及第二电极层;其中,所述第一电极层通过所述互连层与所述第一电源衬垫耦接,所述第二电极层通过所述互连层与所述修复衬垫耦接。本发明适用于带有转接板芯片封装中。
技术关键词
深沟槽电容
衬垫
晶粒凸块
转接板
电容组
电源
导电线
封装方法
电极
衬底
并联电容
集成半导体技术
计划
阵列
芯片
封装板
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