一种基于图像处理的晶舟缺陷监测方法及系统

本发明涉及半导体制造设备检测技术领域，公开了一种基于图像处理的晶舟缺陷监测方法及系统，其中，一种基于图像处理的晶舟缺陷监测方法包括：构建微型自主移动检测机器人，采集晶舟表面的衍射图案、多焦面图像序列、多光谱图像及其他多模态数据；利用相位恢复算法、焦面堆叠算法和多光谱信息融合技术进行图像处理；基于信息熵计算和观察价值评估，规划最优观察路径；对缺陷进行定量表征和风险评估；本发明突破了传统光学检测的分辨率限制，实现了纳米级缺陷的检测能力，消除了检测盲区，获取了缺陷的三维形态和多维特征信息，为晶舟质量控制提供了更精准的技术手段。